машины и аппаратура для производства плоских дисплейных панелей

8486 30 100 0 — установки для химического осаждения из паровой фазы на подложки жидкокристаллических устройств
8486 30 300 0 — установки для сухого травления рисунка на подложках жидкокристаллических устройств
8486 30 500 0 — аппаратура для физического осаждения распылением на подложки жидкокристаллических устройств
8486309 — прочие