прочие

8486 20 900 1 — работающие с использованием процессов светового или фотонного излучения, кроме лазерного, используемые в производстве полупроводниковых приборов
8486 20 900 2 — для сухого травления рисунка на полупроводниковых материалах
8486 20 900 3 — установки для удаления фоторезиста или очистки полупроводниковых пластин
8486 20 900 4 — машины гибочные, кромкогибочные, правильные (включая прессы), используемые в производстве полупроводниковых приборов
8486 20 900 5 — аппаратура для проецирования или нанесения рисунка маски на сенсибилизированные полупроводниковые материалы
8486 20 900 9 — прочие